产品用途: |
||||||
一般用于材料及产品的应力释放,特别是晶圆或者微电子材料的应力释放。在高温环境中,半导体及金属材料极易氧化,所以需要抽真空与充氮气联动加以保护。同样的这些材料也更容易受到灰尘污染,100级甚至更高的洁净度可保护这些材料不被污染。 |
||||||
型号 |
ZK-DQKX-072 |
ZK-DQKX-270 |
ZK-DQKX-480 |
ZK-DQKX-600 |
ZK-DQKX-720 |
ZK-DQKX-1000 |
内箱尺寸 |
40×45×40 |
60×90×50 |
80×100×60 |
100×100×60 |
100×120×60 |
100×100×100 |
W×H×D (cm) |
||||||
外箱尺寸 |
72×116×56 |
93×163×67 |
110×172×77 |
130×172×77 |
116×170×116 |
116×150×166 |
W×H×D(cm) |
||||||
温度范围 |
室温+25℃~200℃(300℃) RT+25℃~200℃(300℃) |
|||||
温度波动度 |
±0.3℃ |
|||||
温度均匀度 |
±1%℃ |
|||||
解析精度 |
0.1℃ |
|||||
氧气浓度 |
0-2000 PPM |
|||||
升温时间 |
30分钟 |
|||||
外箱材质 |
冷轧板+烤漆 |
|||||
内箱材质 |
SUS#201不锈钢板(200℃以上材质为SUS#304不锈钢板) |
|||||
隔热材质 |
玻璃棉 |
|||||
循环系统 |
离心风机风循环系统 |
|||||
加热系统 |
SUS#不锈钢高速加热器 |
|||||
控制系统 |
按键式数显控制器 |
|||||
氮气系统 |
流量计+压差表(选配氧气分析仪) |
|||||
附件 |
控制状态指示灯,隔层架(2个,高度可调) |
|||||
安全装置 |
相序保护,超温,过流,过载 |
|||||
电源 |
AC 3Ψ 380V 60/50Hz |
|||||
定制服务 |
非标特殊要求,可定制 |
|||||
结构设计: |
||||||
A、材质:内部采用不锈钢板制造,外部SS41钢板铁材加防锈处理及粉体烤漆 |
||||||
B、保温:采用高密度100K的耐高温保温棉﹐六面保温绝热。 |
||||||
C、门 :单开门式,美式全开后钮,门四周皆装置耐高温硅胶迫紧,坚固耐用. |
||||||
D、换气装置:换气量采用全进全出可调式风门,可直接与排风管连接. |
||||||
E、机台滑轮:采滑轮移动调整摆放位置与强力螺栓固定位置 |
||||||
F、箱内盘架:标配可活动调整栅盘架或不锈钢条状栅盘二只 |
||||||
G、送风系统:特制耐高温烤箱专用马达,配合多翼式风轮高速运转及单面水平送风循环,温度均匀。 |
||||||
H、电热系统:采用覆套式电热器无尘化电热发生器,低辐射热不易氧化,耐用期限5~10年。 |
||||||
产品特点: |
||||||
1. 内外箱材质:外箱为钢板烤漆 内胆为镜面不锈钢 |
||||||
2. 保温材质: 高效压缩玻璃棉 |
||||||
3. 保温装置: 无熔丝开关,超温保护开关,瓷质保险丝 |
||||||
4. 配 件: 可调隔层板2-6件 |
||||||
5. 电 源: 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地 |
||||||
6. 风机延时断电功能(可另购配程控) |
||||||
7.高温氮气烘箱保险装置: 第一次超温报警,第二次超温切电功能,MCCB过载保护,温度自整定,电热鳍片式散热管形电热管 |
||||||
8. 运风系统: 强制送风循环系统及特别设计出风口,温度分布均匀度特佳 |
||||||
9. 控制形成 :温度到达设定温度后自动打开时间计,时间到达后切断发热电源,蜂鸣提示 |